*、项目信息
项目名称:台阶仪
管理部门:实验室建设与设备管理处
项目编码:************
采购方式:自行采购
*、采购单位信息
采购单位名称:西南大学
采购单位地址:重庆市北碚区天生路2号
联系人:***
*、成交信息
成交日期:****-**-**
成交金额:******.**元(人民币)
成交供应商:**********
供应商联系地址:安徽省铜陵市经济技术开发区高新技术创业服务中心D号楼***号
*、采购小组成员名单
***
*、项目用途及合同履行日期
项目用途:科研
合同履行日期:****-**-**
*、主要标的信息
序号 | 品目 | 商品名称 | 数量 | 计量单位 | 单价 | 型号 | 规格/详细参数 | 是否进口 | 品牌 | 产地 | 生产厂商 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
1 | 其他仪器仪表 | 台阶仪 | 1 | 台 | ***,*** | *****手动版 | 晶圆尺寸 ***** 晶圆对准 N/A 产能 N/A 重复性测量偏差 ≤***(1σ ***标准块重复扫描**次) 再现性测量偏差 N/A 最大测量范围 **** 垂直分辨率 0.*** 满量程 探针加力范围 1~**** 力控制 恒定 垂直线性度 N/A 采样速度 ***** 最大扫描长度 **** 扫描方向 左右双向 扫描分辨率 **** 扫描最大采集点数 ****点 扫描速度 ***/s-****/s 扫描平整度 ****/*** 样品台运动方式 可实现水平(X/Y),旋转(**) 手动控制 **样品台行程 ****,可定制 Z样品台行程 **** 样品旋转台 ±***° 标准探针 曲率半径&**;*** 角度**° 亚微米探针 曲率半径≤*** 角度**° | 否 | 泽攸 | 东莞 | ********** |
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